微导纳米：公司ALD技术目前未应用于固态电池

财迅通3月4日讯，微导纳米（688147.SH）在互动平台针对投资者提出的问题进行了答复。

问：公司的ALD技术能否应用于固态电池？是否已有该方面的业务进展？

答：尊敬的投资者您好，ALD 技术具有优异的三维共形性、大面积成膜的均匀性和对膜厚的精确控制等特点，能够实现较高的台阶覆盖率，是一项具备前瞻与共性的关键真空镀膜技术，可应用于多个重要产业。目前公司ALD技术主要应用于晶圆加工及光伏电池片生产的薄膜沉积工艺环节。感谢您的关注。